Produits
Chuck Electrostatique
Les chucks électrostatiques de SEMCO Technologies offrent des solutions intelligentes pour le maintien et le traitement de tous types de wafers. Avec plus de 30 ans d’expertise et de savoir-faire, SEMCO Technologies dispose d’une équipe d’ingénieurs dédiée à l’innovation dans le domaine du PVD, du CVD, de l’implantation d’ions, de la gravure, de l’inspection et de la manipulation.
SEMCO Technologies, expert en chucks électrostatiques
Découvrez nos eChucks
Depuis 1992, SEMCO Technologies conçoit et fabrique en France des mandrins électrostatiques (ESC) et des tables chauffantes innovants pour l’industrie de production de semiconducteurs.
SEMCO Technologies fournit les principaux OEM, Semiconductor fabs, fonderies et laboratoires dans le monde entier, directement ou par l’intermédiaire de ses filiales et de ses centres de service.
A propos de nos chucks
Caractéristiques
Techniques.
Solution unique intégrée dans un unique mandrin, comprenant des réchauffeurs BSG pour la gestion des gaz et la mesure de la température.
Manipulation sûre et facile des plaquettes de semi-conducteurs, des écrans plats, des cellules solaires, etc. Capacité de serrage d’une variété de matériaux, y compris les diélectriques et les composés.
Taille
Compatibilité avec substrats de 50 à 450mm de diamètre.
Température de process
Echelle de température de -150°C (-238°F) à +650°C (+1200°F).
Technologie Coulombic
Pour les plaquettes Si et III-V, compatible avec les substrats non conducteurs tels que le saphir, les supports TSV, etc.
Type d'électrode
Bi-polarité, Multi-polarité.
Eléments chauffants
Multizone avec mesure de la température intégrée
Surface de contact du wafer
Modèle sur mesure dédié aux applications du client.
Produits
Notre technologie
SEMCO Technologies offre des solutions fiables pour le serrage et le traitement de plaquettes standard, minces et ultra-minces en utilisant la technologie capacitive ESC exclusive. Nous avons également la capacité de fabriquer des systèmes dotés d’éléments chauffants intégrés couvrant une large gamme de températures, avec une parfaite homogénéité. SEMCO Technologies offre un ensemble complet d’outils de modélisation thermique pour la régulation BSG, l’optimisation du transfert thermique et le contrôle de l’uniformité de la température avec un contrôle optimisé des particules de la face arrière.
ESC's
Notre expertise.
Les ESC sont utilisés dans divers procédés de semi-conducteurs pour maintenir les plaquettes pendant le traitement. Le chuck est la seule pièce qui assure l’interface entre la plaquette et l’outil en créant une force de maintien électrostatique entre le disque et la plaquette. Les assemblages d’ESC et de piédestaux sont construits en fonction des résultats de la modélisation électrique, mécanique et thermique, et sur la base d’un contrôle à 100 % par la sérialisation.
Certifications et qualifications
Nos certifications
et qualifications.
SEMCO Technologies cherche continuellement à investir dans de nouvelles technologies de fabrication, dans la recherche et le développement et dans la formation de ses équipes. Notre objectif est de fournir les meilleurs produits et services à nos clients et nous nous engageons à atteindre les plus hauts niveaux en termes de qualité et de technicité !
ISO 9001
Projet en cours – Fin 2025
COFREND 2
Qualification COFREND 2 pour le calcul du test d’étanchéité
QMOS / CMOS
Collaborateurs et équipements certifiés QMOS / CMOS
ISO 7 Cleanroom
Tous nos produits sont fabriqués dans une salle blanche ISO 7
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Pour toute information complémentaire, nos équipes sont à votre disposition. N’hésitez pas à nous contacter pour en savoir plus sur nos produits et services.