Produits
Chucks électrostatiques
Les chucks électrostatiques SEMCO sont des solutions performantes pour le maintien et le traitement des plaquettes de silicium minces et ultra-minces.
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SEMCO Technologies, expert en chucks électrostatiques
Découvrez nos eChucks
Depuis 1992, SEMCO Technologies conçoit et fabrique en France ses chucks électrostatiques innovants (ESC) et ses socles chauffants associés pour le marché semiconducteur.
SEMCO Technologies fournit les principaux OEM, fabriquant de semiconducteurs, fonderies et laboratoires dans le monde entier, directement ou par l'intermédiaire de ses filiales et de ses centres de service.
A propos de nos chucks
Caractéristiques techniques
Manipulation sûre et facile des wafers semiconducteurs, des cellules solaires etc. Capacité de maintien d'une large variété de matériaux, y compris les diélectriques et les composés.
Taille
Compatibilité avec substrats de 50 à 450mm de diamètre.
Température de process
Echelle de température de -150°C (-238°F) à +650°C (+1200°F).
Technologie Coulombic
Pour les plaquettes Si et III-V, compatible avec les substrats non conducteurs tels que le saphir, les supports TSV, etc.
Type d'électrode
Bi-polarité, Multi-polarité.
Surface de contact du wafer
Modèle sur mesure dédié aux applications du client.
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Nos eChucks
Solutions électrostatiques pour les plaquettes minces et ultra-minces.
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ESC - Notre expertise
SEMCO Technologies offre des solutions fiables pour le maintien et le traitement de plaquettes standard, minces et ultra-minces en utilisant la technologie capacitive ESC exclusive. Nous avons également la capacité de fabriquer des chucks avec des éléments chauffants intégrés : ensemble complet d'outils de modélisation thermique pour la régulation du BSG, l'optimisation du transfert thermique et le contrôle de l'uniformité de la température ainsi que le contrôle optimisé des particules de la face arrière.
Certifications
Nos certifications et qualifications
SEMCO Technologies cherche continuellement à investir dans de nouvelles technologies de fabrication, dans la recherche et le développement et dans la formation de ses équipes. Notre objectif est de fournir les meilleurs produits et services à nos clients et nous nous engageons à atteindre les plus hauts niveaux en termes de qualité et de technicité !
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Pour toute information complémentaire, nos équipes sont à votre disposition. N'hésitez pas à nous contacter pour en savoir plus sur nos produits et services.
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