Découvrez la gamme Kemstream
Evaporateurs
Notre gamme Vapbox d'évaporateurs pour l'injection directe de liquide (DLI) est destinée à toutes les machines de dépôt chimique en phase vapeur et de dépôt par couche atomique (CVD et ALD).
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Produits
Découvrez nos évaporateurs
Les évaporateurs Vapbox DLI utilisent une technologie d'injection-vaporisation innovante et brevetée. Ils peuvent traiter et vaporiser une très large gamme de précurseurs CVD et ALD.
Le système unique d'injection-atomisation mis en œuvre sur les vaporisateurs Vapbox DLI permet d'obtenir une vaporisation flash, ce qui permet un temps de réponse très rapide de l'évaporateur.
Evaporateurs
VAPBOX Series
Tous les vaporisateurs Vapbox DLI utilisent la tête d'injection innovante (propriété de KEMSTREAM) et des transferts de chaleur optimisés. Cela leur permet de fournir des performances inégalées basées sur une atomisation pulsée très fine d'un flux de liquide pulsé mélangé à un gaz porteur avant l'injection à l'intérieur du vaporisateur. Les Vapbox sont disponibles avec une à quatre têtes d'injection et peuvent fonctionner à la pression atmosphérique ou sous vide.
Certifications
Nos qualifications et certifications
SEMCO Technologies forme continuellement son personnel, modernise ses équipements et ses outils de production afin de répondre au niveau d'exigence de ses clients.
ISO 9001
Projet en cours
COFREND 2
Qualification COFREND 2 pour le calcul du test d'étanchéité
QMOS
Collaborateurs et équipements certifiés QMOS
Evaporateurs
Caractéristiques techniques
La co-injection du gaz vecteur et du liquide/solution permet une atomisation efficace du liquide et un bon mélange du gaz vecteur avec le liquide.
Température de process
Jusqu'à 300°C maximum
Fonctionnement
Sous vide ou sous atmosphère
Flexibilité
Supporte une large gamme de produits chimiques
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Pour toute information complémentaire, nos équipes sont à votre disposition. N'hésitez pas à nous contacter pour en savoir plus sur nos produits et services.
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